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天微芯片:突破封装极限的底层逻辑

封装密度与热管理的矛盾,从来不是选择题

很多人以为,芯片封装密度提升必然伴随热失控风险,其实不然——这本质是材料科学与拓扑结构的博弈。天微最新发布的TSV-3D 2.0封装技术,通过在硅基底上构建垂直互连通道,将单位面积晶体管数量提升至1.2亿/cm²,同时将热阻系数压低至0.08K/W。这一数据背后,是团队对铜互连层晶格取向的精准调控:当铜柱沿<110>晶向生长时,电子迁移率提升17%,而热膨胀系数降低23%,直接解决了高密度封装中的电热耦合失效问题。

案例:慕尼黑电子展的「极端测试」

天微芯片:突破封装极限的底层逻辑

在2023年慕尼黑电子展上,天微工程师将一颗采用TSV-3D 2.0封装的AI加速芯片置于-40℃至150℃的循环温箱中,同时施加50A的持续电流。很多人以为这种极端条件会触发熔断保护,其实不然——芯片在72小时测试后,互连层电阻变化率仅0.3%,远低于行业标准的2%。底层逻辑是:天微独创的梯度掺杂势垒层,在铜互连表面形成0.5μm厚的氮化钽/钨混合层,既抑制了铜原子扩散,又维持了低接触电阻。这种设计灵感源自核反应堆燃料棒的包壳材料,但将耐温阈值从600℃压缩至芯片级应用的200℃以内。

听起来可能反直觉,但高密度封装反而需要「更厚」的介质层。天微在TSV-3D 2.0中采用双层低k介质:底层为SiCOH(介电常数2.7),顶层为气隙(介电常数1.0)。这种结构将信号串扰降低40%,而传统单层低k介质在相同密度下会因电容耦合导致信号完整性崩溃。数据不会说谎:在128层3D NAND闪存控制器测试中,天微方案的误码率比某国际大厂低两个数量级——后者仍在使用单层SiO₂介质。

当行业还在争论CoWoS与EMIB谁更先进时,天微已将战场转向晶圆级异构集成。在苏州工业园区的中试线上,团队正验证将7nm CPU、14nm HBM和40nm电源管理芯片集成在300mm晶圆上的工艺。很多人以为异构集成会因热应力导致良率崩塌,其实不然——通过在芯片间嵌入形状记忆合金(SMA)缓冲层,当温度超过120℃时,SMA会收缩0.5%吸收应力,冷却后恢复原状。这种动态补偿机制使异构集成良率从62%提升至89%,而传统刚性填充方案的良率始终徘徊在50%以下。

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