MEMS传感器将是未来传感器最重要的类型之一，许多传统感测传感器都在不断“MEMS”化。

本文整理了中国次要的MEMS传感器芯片产线和最新进展情况，信息截止2024年1月，是目前最齐全的MEMS产线生产信息盘点。次要有企业IDM产线、代工产线、中试线、研发平台等，共计33条MEMS传感器芯片产线信息。

1、美新半导体 （IDM）

美新半导体（MEMSIC）是全球领先的惯性MEMS传感器及解决方案提供商，于1999年成立, 目前总部位于中国天津，2007年在美国纳斯达克上市，是全球MEMS第一股。

美新半导体在无锡建有8英寸MEMS磁、惯性传感器封测产线。2024年7月，据绍兴滨海新区管委会公示公告，美新半导体将在绍兴建设MEMS磁传感器生产线及加速度传感器工艺开发实验线，该产线估计年产6亿颗MEMS芯片。

2、赛微电子 （代工）

赛微电子2015年在深交所创业板上市，重点发展MEMS工艺开发与晶圆制造业务，2016年全资收购瑞典MEMS芯片制造商SilexMicrosystemsAB，提供压力、惯性、红外、微镜、光开关、硅麦克风等多种MEMS工艺开发及晶圆制造的服务。

根据半导体市场研究机构Yole Development统计的2024年数据，Silex Microsystems AB 在全球MEMS纯晶圆代工排名中位居第一，全球MEMS芯片代工市场（不包含IDM厂商本身制造部分的统计）的占有率约为8%。

同年，引入战略股东北京集成电路制造和配备股权投资基金，在北京启动建设“8英寸MEMS国际代工线建设项目”。

2024年6月北京8英寸MEMS产线（北京FAB3）一期建成生产，目前月产约1万片。FAB3二三期工程正在进行，全部投产后，估计FAB3总产能达3万片每月。

2024年10月赛微电子旗下Silex专项技术出口许可申请被瑞典当局否决，赛微电子将无法通过子公司Silex获取相关MEMS技术，需要自主独立探索后续MEMS技术细节。

▲赛微电子董事长杨云春手持北京FAB3生产的8英寸MEMS麦克风晶圆

3、东方微磁 （IDM）

湖北宜昌东方微磁无限公司是中国船舶重工集团公司第七一〇研究所全资子公司，是一家努力于磁学计量和中国磁电产业发展的高新技术企业，建有国防科技工业弱磁一级计量站、磁电子技术国家地方联合工程实验室、湖北省磁电子工业技术研究院，拥有国内第一条MEMS磁传感器芯片生产线。

东方微磁的MEMS生产线2015年底全部调通，是国内首条可满足工业化生产的磁芯片生产线，保守产能为1000片/月，每年至多可生产月2亿颗芯片，共有溅射镀膜、光刻、真空、测试等设备进60台。

4、昊润科技 （IDM）

山东昊润自动化技术无限公司从事硅压阻、硅电容OEM传感器，通用型、智能型及行业公用型自动化测控仪表的设计研发和规模化制造。

2011年欧洲经济危机期间，昊润科技收购芬兰VTI公司3D-MEMS 硅电容传感器全套生产线，并引进其核心技术。因此，昊润科技拥有本人的3D-MEMS技术和硅电容传感器生产线，年生产规模1500万只。

5、中芯集成电路制造（绍兴）（代工）

2018年3月由中芯国际、绍兴市政府、盛洋集团共同出资设立中芯集成电路制造（绍兴）无限公司。同年5月，总投资58.8亿元的中芯集成电路制造（绍兴）项目开工奠